eng / rus

Инспекция качества полупроводников

Системы оптической инспекции предназначены для осмотра полупроводниковых пластин и структур, выполненных в объеме полупроводника. Установки данного типа позволяют провести анализ пластин на предмет чистоты и качества рисунка пластины бесконтактным методом. 
Также с помощью подобного оборудования можно осуществлять межоперационный контроль и производить измерение топологии.