back

Зондовый инспекционный микроскоп PSM1000

Производитель Motic
Модель: PSM1000

Описание

Турель с 3-мя линзами:

1XUV/VIS: для спектра 355 нм – 532 нм
1XIR/VIS: для спектра 532 нм – 1064 нм
2XVIS: для увеличения 2000х (с объективом 100х)
UHD-камера 5-18 Мегапикселей (опциально)

Блок фокусировки

Резкость изображения в фокальной плоскости с точностью 1 мкм с диапазоном хода 50 мм
Регулируемое револьверное устройство
Устройство предназначено для установки 4-х объективов типа M26 x 1/36" (0.706), направленных вперед

Окуляры

Настраиваемые пользователем, с вынесенной точкой визирования, широкопольные 10x/24мм с регулировкой ±5σ
 
Объективы Plan Apochromat

Диапазон увеличения от 2x до 100x
 
Документирование

Используя цифровые камеры Moticam с соответствующим адаптером для микроскопов PSM-1000, Вы сможете выполнять анализ изображений, документирование и обучение.
 
Поворотная насадка

Для инспекции объекта с размерами 300 мм, в плане улучшения эргономики опционально поставляется бинокулярная насадка с изменяемым углом наклона. Угол наблюдения может меняться от 3° до 30°. Возможна модификация используемого микроскопа PSM - 1000 с бинокулярной насадкой без изменения угла наклона. 
 
Штатив/Предметный столик

Координатный стол имеет диапазон перемещения 75 мм по оси X и 50 мм по оси Y

Остальное оборудование для инспекции качества полупроводников Вы можете просмотреть в нашем каталоге.

Спецификация

Области применения

Контроль поверхности пластин, кристаллов, обследование устройств (в том числе интегральных)

Бинокулярная насадка

Широкопольная насадка с выходом для документирования и режимами работы:
50/50 и 0/100, тип Siedentopf на бесконечность с раздвижкой по глазной базе 55-70 мм.

Окуляры

Широкопольные, с оптикой на бесконечность 10x/24 мм Возможна установка окулярных сеток Ø25 мм

Турель

Турель для установки 3 линз: Инфракрасная 1x IR, ультрафиолетовая 1x UV, промежуточная линза с увеличением 2x

Работа с лазером

Выдвижной светоделитель, задвижка для обеспечения безопасности, прокладки

Спектральный диапазон

355 нм (УФ) – 532 нм (зеленый) – 1064 нм (ИК)

Револьверное устройство

Четверное, с установкой направлением вперед
Подпружиненное, регулировка центровки
Крепление «ласточкин хвост» для простоты монтажа

Объективы (опционально)

Объективы типа Plan Apochromat с экстра- и ультра- большим рабочим расстоянием
Диапазон увеличений от 2x до 100x, резьба M26 x 1/36" (0.706)
Доступна регулировка парфокальности

Диапазон увеличения микроскопа

20x - 2000x

Апертурная диафрагма

Регулируемые глубина резкости и контраст.
Диапазон регулировки: Ø0.8 - Ø6 мм

Блок фокусировки

Перемещение 50 мм
Коаксиальная система настройки
Грубая фокусировка 4 мм за поворот
Тонкая фокусировка 0.1 мм за поворот
Точность 1 мкм
Нагрузка 20,4 кг

Освещение

Отраженный свет для метода светлого поля

Опциональный метод контрастирования

Поляризация
Спектральный диапазон: 400 нм – 700 нм
Доступен регулируемый поляризатор

Оптоволоконный осветитель
(опционально)

Переключаемый блок питания (115 В – 220 В)
Выход 150 Вт / 21 В
Освещенность 1,600,000 люкс
Диапазон изменения цветовой температуры: 500K - 3700K
Гибкий световод с диаметром Ø15 мм на конце

Масса (только головка)

7,3 кг

Размеры

372 мм(В) x218 мм(Ш) x333 мм(Д) – с фокусировочным блоком